• 12英寸碳化硅衬底实现激光剥离

  • 新闻动态 2025-04-17
  • 记者27日从西湖大学获悉，由该校孵化的西湖仪器（杭州）技术有限公司（以下简称“西湖仪器”）成功开发出12英寸碳化硅衬底自动化激光剥离技术，解决了12英寸及以上超大尺寸碳化硅衬底...
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